Vakuumtauglicher Linearantrieb, 450 N
LTC450 bietet eine Auflösung im Nanometerbereich bei einer Tragfähigkeit von 450 N und 20 mm Hub
Subnanometer-Präzision für die Halbleiterindustrie
- Echter linearer Direktantrieb
- Vakuumtauglich
- Auflösung bis in den Subnanometerbereich
- 450 N Kraft
- 20 mm Hub
- Selbsthemmend
- Spielfrei
Echter direkter Linearantrieb
Die Antriebstechnik ist direkt, d. h. es werden keine Getriebe oder Gewindespindeln benötigt, um eine lineare Bewegung zu erzeugen. Der Motor bewegt sich im Mikroschrittverfahren, d. h. er unterteilt einen vollen Wellenformdurchgang in Nanometerschritte. Die Geschwindigkeit reicht von Nanometern pro Sekunde bis zu Millimetern pro Sekunde und kann über den gesamten dynamischen Bereich nahtlos gesteuert werden, ohne dass der Antriebsmodus geändert werden muss.
Das Twin-Konzept ermöglicht eine hohe Kraftleistung in einem kompakten Gehäuse, in diesem Fall eine Stillstandskraft von 450 N. Dies führt zu einer robusteren Konstruktion, die ohne Kugellager auskommt.
Er hat einen Direktantrieb ohne Spiel und kann Mikroschritte im Subnanometerbereich ausführen. Für Vakuumumgebungen konzipiert
In die Konstruktion integriert ist eine Sicherheitssperre mit voller Kraft von über 450 Newton bei Stromausfall.
Spezifikationen LEGS® LTC450 Schwerlast-Linearantrieb
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Typ |
Vakuum (D) |
Einheit |
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Maximaler Hub
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20
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mm
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Maximalgeschwindigkeit
Treiberabhängig |
0,2
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mm/s
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Minimalgeschwindigkeit
Treiberabhängig |
1
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μm
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Stillstandskraft
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450
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N
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Haltekraft
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>450
|
N
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Vakuum
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Ja
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10-7 Torr
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Nicht-magnetisch
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Nein
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Betriebsspannung
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42-49
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V
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Leistungsaufnahme
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300
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mW/Hz
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Mechanische Größe L x H x T
mit Führungen und Encoder |
k.A.
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mm
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Mechanische Größe L x H x T
ohne Führungen und Encoder |
98 x 50 x 50 |
mm
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Gewicht
mit 50 mm Antriebsstange |
1060
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g
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Material im Motorgehäuse
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Edelstahl
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Betriebstemperatur
empfohlen |
+10 bis +70
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ºC
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Anschluss Motor
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Verlötetes Kabel mit JST O5SR-3S
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Anschluss Encoder
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Motor-Auflösung
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<1
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nm
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Integrierter Encoder
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Nein
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Encoder-Auflösung
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k.A.
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µm
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Hauptabmessungen LTC450
Motorleistung LTC450
Motorleistung mit Rhombus-Wellenform (gefüllt) und Delta-Wellenform (gepunktet). Die Vollschrittlänge ist die durchschnittliche Strecke, die die Antriebsstange zurücklegt, wenn die Beine einen vollen Schritt ausführen (d. h. für einen Wellenformzyklus).
Hinweis: Eine Standardabweichung σ von 0,5 μm sollte berücksichtigt werden.
Es sind typische Werte für 20 ºC angegeben.
Hubbereich
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Hub (mm) mit einem Adapter
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Länge der Antriebsstange (mm)
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0-20 |
Fest
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Motordrehzahl bei 20 °C ohne Last
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Wellenform
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Max. Frequ. (Hz)
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Geschwindigkeitsbereich (mm/s)
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Delta
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50
|
0-0,15
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Rhombus |
0-0,2
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Steuerung des Motors
Unsere Motorsteuerungen gibt es in vielen verschiedenen Ausführungen, mit Controllern und Verstärkern für den Laboreinsatz sowie zur Integration in OEM-Geräte.
Wir können auch die Treiber für Kunden lizenzieren, die ihre eigene Treiberelektronik bauen wollen.
