Kompakter, vakuumtauglicher Lineartisch
Die LPS-Serie ist eine Serie von flachen Lineartischen mit integrierten, kundenspezifischen
linearen Encoder-Systemen.
Kompakt und stark. Hohe Auflösung und leichtgängige Bewegung.
- Vakuumtauglich
- Auflösung bis in den Subnanometerbereich
- 10 – 20 N Kraft
- 15 – 85 mm Hub
- Nulldrift-Encoder
- Selbsthemmend
- Spielfrei
Echter linearer Direktantrieb
Die LPS-Serie ist ein flacher Lineartisch mit einem integrierten, kundenspezifischen Piezomotor und linearen Encoder-Systemen, die von NANOS Instruments entwickelt wurden. Die steife und robuste Konstruktion mit Kreuzrollenlagern aus Stahl oder Keramik garantiert eine leichtgängige und hochpräzise Bewegung im Subnanometerbereich. Dieser Tisch hat eine ultrahohe Präzision und ist in Edelstahl, Titan oder Invar-36 erhältlich, zusammen mit einer Zerodur®-ähnlichen Skala.
Der optische Sensor erzeugt nur 20 mW (optional 15 mW) im Lineartisch und verfügt über ein spezielles Kühlprofil. Dies führt von der ersten Minute an praktisch zu Nulldrift bei höchster Auflösung. Dieser Tisch ist in verschiedenen Größen erhältlich, auch als Version mit einer Apertur oder als Goniometer, und kann als Baustein für einen Mehrachsentisch kombiniert werden. Er hat eine hohe Kraft und ist ultrapräzise.
Technische Daten Acuvi LPS Tische
|
BEWEGUNG |
Wert |
Einheit |
|
Aktive Achsen
|
X
|
|
|
Verfahrweg in X
|
1-70
|
mm
|
|
Maximale Geschwindigkeit in X ohne Last
|
15
|
mm/s
|
|
POSITIONIERUNG
|
||
|
Minimale inkrementelle Bewegung in X
|
10
|
nm
|
|
Unidirektionale Wiederholpräzision in X
|
20
|
nm
|
|
Referenzschalter
|
1x Magnetschalter + 2x Endschalter
|
|
|
Integrierter Sensor
|
magnetisch
|
|
|
Systemauflösung in X
|
10
|
nm
|
|
Sensorauflösung
|
10
|
nm
|
|
MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN
|
||
|
Tragfähigkeit
|
10
|
N
|
|
Haltekraft in X
|
10
|
N
|
|
Führung
|
Rollkörperführung / Kreuzrollenführung
|
|
|
Gesamtmasse
Abhängig vom Verfahrweg |
70
|
g
|
|
Material
|
Edelstahl
|
|
|
SONSTIGES
|
||
|
Anschluss
|
05SR-3S
|
|
|
Sensoranschluss
|
10XSR
|
|
|
Kabellänge
|
1
|
m
|
|
Empfohlene Controller/Treiber
|
(B) MC101
|
|
